微纳加工与器件制备室聚焦原子级制造与微纳加工技术前沿，紧跟泛半导体产业发展趋势，积极布局有化合物半导体、MEMS智能传感器、异质异构混合集成、微纳光学、新概念材料等领域，旨在建设成为集材料生长、微纳加工、器件制备、测试表征、研发中试为一体的综合性技术服务与创新平台，实现泛半导体材料与器件从微米到纳米甚至原子级别的可控加工与测试，服务前沿科学研究的同时深度赋能产业。

平台建设超净实验室面积近3000㎡，配置各类泛半导体材料生长、微纳加工与检测表征设备200余台套，能力覆盖外延工艺、图形工艺、键合工艺、刻蚀工艺、薄膜工艺、高温工艺、湿法工艺、后道工艺、量测辅助等九大工艺板块，加工线宽从百微米到纳米量级全尺寸覆盖、加工晶圆尺寸从8英寸向下全尺寸兼容，可为用户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。

平台已通过ISO9001质量管理体系认证，先后获批认定东莞市半导体材料与器件异质集成工程技术研究中心、广东省半导体材料与器件异质集成工程技术研究中心，并成功入选工业与信息化部首批重点培育中试平台名单。截止到2025年，平台已形成近百人的专业技术支撑团队，其中副高以上职称专业技术人员10余人，工程师以上职称专业技术人员20余人，为行业内近30个省直辖市的企业、高校及科研院所提供了高水平研发中试服务，累计服务企事业单位超400家，服务金额超3亿元。

未来，平台将持续以需求为牵引，完善公共技术服务、共性技术研究、流片代工、材料及装备验证等核心功能，提升对科研与产业的公共支撑能力。同时，积极携手高校与企业，探索联合人才培养机制，推动原子级制造和微纳加工技术进步与产业集聚，支撑大湾区乃至全国电子信息、未来显示、人工智能、新能源汽车及智能制造等产业核心技术的自主可控与迭代升级，助力新质生产力发展。 

服务方向

（1）共享仪器设备的预约使用及操作培训服务；

（2）单步及多步工艺委托加工服务（光刻、刻蚀、镀膜、注入、键合、电镀、减薄、划片等）；

（3）单步及多步工艺委托开发服务（按照用户的工艺验收标准定制开发工艺）；

（4）关键原物料及耗材应用验证与辅助开发服务（衬底、靶材、光刻胶、抛光垫、抛光液、电镀液等）；

（5）工艺设备应用验证与辅助开发服务（平台提供场地、水电气条件、工艺应用环境和使用反馈）；

（6）新材料、新工艺、新产品的合作开发、委托开发、中试流片、小批量代工服务，具体涵盖以下方向：

（7）化合物半导体材料外延和代工（GaAs、InP、GaN等）；

（8）先进压电薄膜材料的制备和代工（PZT、AlScN等）；

（9）MicroLED微显示屏芯片设计、工艺开发与流片；

（10）宽禁带半导体功率芯片设计、工艺开发与流片（GaN、AlN、SiC、Ga2O3等）；

（11）化合物半导体微电子、光电子芯片设计、工艺开发与流片（HEMT、LED、VCSEL、PD、SolarCell等）；

（12）MEMS传感器芯片设计、工艺开发与流片（压力传感器、加速度计、微振镜、麦克风、扬声器、微流控等）；

（13）微纳光学芯片设计、工艺开发与流片（微透镜、光波导、超表面等）；

（14）异质异构混合集成关键技术开发与代工（W2W晶圆键合、D2W对位键合，HB混合键合、临时键合、异质异构混合集成等）；

（15）精密电镀关键技术开发与代工（RDL等）。